超純水（UPW：Ultra Pure Water） ちょうじゅんすい

超純水とは、水中に含まれるイオン、有機物、微粒子、微生物、溶存ガスなどの不純物を、極めて高度に除去した高純度の水のことです。英語では Ultra Pure Water と呼ばれ、略して UPW と表記されます。

超純水は、一般的な水道水や純水よりもさらに高い水質が求められる用途で使用されます。特に半導体や電子部品の製造工程では、わずかな不純物でも製品不良の原因となるため、洗浄工程などに欠かせない水として利用されています。

また、医薬品製造、研究施設、精密機器分野などでも、製品品質や試験精度を維持するために超純水が使用されます。超純水を安定して製造・供給する設備は、UPW設備 または 超純水製造設備 と呼ばれます。

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